Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme
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Laboreinrichtungen

Profilometer, Mikroskop, 6“ Mask Aligner
Profilometer, Mikroskop, 6“ Mask Aligner
Aufdampfanlage, Trockenöfen
Aufdampfanlage, Trockenöfen
Gasversorgung Plasmaanlagen
Filmetrics Schichtdickenmeßgerät
Chemiebank
Mikrosystem-Analysator
Diamantsäge
Sputteranlage (4x 6")
Sputteranlage (offen)